写真化学膜厚测量装置

简要描述：产地类别进口价格区间面议应用领域化工,建材,电子,汽车,电气写真化学膜厚测量装置分为：标准型号、红外透射式型号、自动映射膜厚仪、成像膜厚仪

产品型号：反射/透射
厂商性质：代理商
更新时间：2023-10-22
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写真化学膜厚测量装置

标准型号可测量膜厚对象：

抗蚀剂厚度

多孔膜

ITO

多晶硅

电池电极

玻璃粘合晶片

端点检测

贴合晶片等

自动映射膜厚仪

可测量膜厚对象：

抗蚀剂厚度

贴合晶片

多孔膜

ITO

多晶硅

电池电极

玻璃粘合晶片

带图案晶片等

分为：标准型号、红外透射式型号、自动映射膜厚仪、成像膜厚仪

写真化学膜厚测量装置

通用型膜厚监视器(标准型号)

●可用作端点监视器

●也可以对应粘接剂层、玻璃层等通常较难测量的材料

通用型膜厚监视器(红外透射式型号)

●对应反射弱的薄膜材料

●可对应卷对卷测量

自动映射膜厚仪

●除了高速自动映射、等高线、3D图显示之外，还自动解析直方图等统计信息

●标准对应φ100～300mm的圆形晶圆，也可对应方形被测物等特殊形状，可选配定制载物台板

●可对应选配项目中的自动校准

成像膜厚仪

●微细二维膜厚分布原位的可视化

●通过在GUI上区域，计算微小区域的膜厚

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