详细介绍
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日立扫描电子显微镜
SU8600
高分辨场发射扫描电子显微镜SU8600系列
*设备照片包含选配项。
SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还提升了高通量、自动数据获取能力。
特点
*高分辨成像
日立的高亮度电子源可保证了即使在低着陆电压下,也可获得高分辨的图像。
高衬度的低加速电压背散射图像
3D NAND截面观察;
在低加速电压条件下,背散射电子信号能够显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。
快速BSE图像:新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探测器,即使扫描时间不到1秒,也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像.
自动化功能*
EM Flow Creator允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块,如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽,将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后,该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。
灵活的用户界面
原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集。
日立扫描电子显微镜
技术参数
机型 |
SU8600系列 |
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电子光学系统 |
二次电子像分辨率 |
0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * |
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放大倍率 |
20 to 2,000,000 x |
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电子枪 |
冷场发射电子源,支持柔性闪烁功能,包含阳极烘烤系统。 |
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加速电压 |
0.5 to 30 kV |
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着陆电压* |
0.01 to 20 kV |
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探测器 |
(部分为选配项) |
上探测器(UD) |
UD ExB能量过滤器,包含SE/BSE信号混合功能 |
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下探测器(LD) |
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顶探测器(TD) |
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TD能量过滤器 |
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镜筒内背散射电子探测器(IMD) |
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半导体式背散射电子探测器(PD-BSED) |
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新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD) |
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阴极荧光探测器(CLD) |
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扫描透射探测器(STEM Detector) |
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附件 |
(部分为选配项) |
导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD) |
软件 |
(部分为选配项) |
EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720像素以下) |
样品台 |
马达驱动轴 |
5轴马达驱动(X/Y/R/Z/T) |
马达驱动轴 |
X:0~110 mm |
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Y:0~110 mm |
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Z:1.5~40 mm |
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T:-5~70° |
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R:360° |
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样品室 |
样品尺寸 |
直径可达:150 mm |
*减速模式下
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